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      集成电路无尘车间设计建设方案

      2022-12-12
      共有3954家企业看过

        集成电路是比较常见的一种电子产品配件,这种产品也是需要在无尘车间进行生产的。今天合洁科技电子净化工程给大家介绍下集成电子无尘车间设计建设的相关内容。

        集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

        无尘车间的建造,除考虑实用性及可靠性外, 强调灵活性以适应集成电路更新换代快的要求,使原有无尘车间能方便的迅速的按生产要求进行调整及改造。FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的净化设计方案。

        FFU循环系统的特点是整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。


      集成电路洁净车间


        集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。另外,集成电路洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求,尤其是振动的控制,在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

        好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入,而且可以给生产提供安全可靠的保证。FFU循环系统运行成本低,洁净度安全性高,因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高,温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高,因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下,将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。

        集成电路制造是高能耗的产业,而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上,因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。主流大厂已经进入了纳米时代,集成电路洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升,为先进制程产品生产提供保障。

        因篇幅问题,仅供参考,希望对您有所帮助,具体详细方案可访问我们合洁科技电子净化工程的网站进一步了解,我们会为您持续讲解洁净工程施工流程,介绍洁净工程各项要求以及解读各类电子洁净车间标准。

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